26.03.2009
Oberflächen vom Nanometer bis zum Meter messen
Dr. Thomas Fries , Fries Research & Technology GmbH
In den Bereichen F&E und Produktionskontrolle spielt die präzise Messung von Oberflächen eine zentrale Rolle: Die Bauteile müssen zerstörungsfrei und mit hoher Auflösung charakterisiert werden, um bestimmte Eigenschaften zu optimieren oder diese zu überprüfen. Die relevanten Größen einer Oberflächenmessung sind Rauheit, Kontur, Struktur oder Schichtdicke, da das Finish einzelner funktionaler Flächen am Bauteil (zum Beispiel in der Mikrofluidik) ebenso wichtig ist wie die Profile spezieller Strukturen (etwa Kanäle für Glasfasern) oder die Geometrie des gesamten Bauteils (zum Beispiel Halbleiterwafer). Ebenso können Rauheit und Welligkeit quantitativ ausgewertet werden. Das Material kann hoch reflektiv, transparent oder schwarz sein.
Bei der Messung stehen eine Vielzahl von Parametern zur Beschreibung der Oberfläche zur Verfügung. Die Auswahl des geeigneten Parameters hängt von der jeweiligen Fragestellung ab. Entscheidend ist hier, ob die gesuchte Information eher im Millimeter-, Mikrometer- oder im Nanometer-Bereich, im Flächeninhalt oder in der Profilstruktur liegt.