Plasma Profiling Mass Spectrometry (PPMS) zur Analyse von Schichten und Grenzflächen
Dr. Rainer Nehm, HORIBA Jobin Yvon GmbH
Viele physikalische, chemische und elektrochemische Prozesse finden in dünnen Schichten oder Grenzflächen statt. Eine genaue Kenntnis der Zusammensetzung dieser Schichten ist ein Schlüssel zum Verständnis der dort ablaufenden Prozesse. Insbesondere im Bereich neuer Energietechniken treten eine Vi...