alpha300 Semiconductor Edition - Raman-Imaging für die Wafer-Charakterisierung auf einer großen Plattform
Oxford Instruments WITec stellt mit der alpha300 Semiconductor Edition ein speziell für die Halbleitertechnik entwickeltes Raman-Mikroskop vor. Es verfügt über eine Scanstage mit einem besonders großen Arbeitsbereich, Wafer-Chuck Optionen und einen fortschrittlichen Workflow-Manager, mit dem auch komplexe Messabfolgen äußerst einfach definiert werden können.
Die Halbleitertechnik gilt als Schlüssel des Informationszeitalters. Eine schnelle und präzise Analyse von Halbleiterkomponenten kann zu einem entscheidenden Wettbewerbsvorteil führen. Die alpha300 Semiconductor Edition vereinigt mehrere technologische Vorteile in einem WITec System, und hilft Forschenden bei der schnellen Visualisierung von Materialeigenschaften. Beispiele dafür sind die chemische Zusammensetzung, Kristallinität, Verspannungen oder Dotierungen. Die Charakterisierung von Halbleiterproben und Wafern bis zu einer Größe von 300 mm (12 inch) beschleunigt sich dadurch immens.
"Ausgehend von einem automatisierten alpha300 Raman Mikroskop, statteten wir dieses mit perfekten Modulen für die Arbeit in der Halbleiterindustrie aus. Mit vergrößertem Scanbereich und intuitiver Software für die Definition von wiederkehrenden Messabfolgen haben wir eine ideale Konfiguration für die Halbleiterforschung in einem System vereint", sagt WITec-Produktmanager Thomas Dieing. "Das Gerät untersucht große Wafer bis 300 mm Durchmesser mit höchster Präzision und demselben Komfort, wie eine gängige Entwicklungsprobe auf einem Objektträger."
Das konfokale Raman-Mikroskop alpha300 Semiconductor Edition verfügt über eine aktive Schwingungsdämpfung und eine optische profilometergesteuerte Fokusstabilisierung. Für standardisierte sowie wiederkehrende Messprozeduren oder die Fernsteuerung des Gerätes in kontrollierten Umgebungen verfügt das System über eine umfassende Automatisierung.
"Focus Editions ist eine neue Serie von vorkonfigurierten, anwendungsorientierten Systemen, in denen WITec die technologischen Vorteile für eine bestimmte Branche übersichtlich bündelt. Die alpha300 Semiconductor Edition ist das erste Produkt dieser Reihe", sagt Harald Fischer, Marketing Director bei WITec. "Die alpha300 Semiconductor Edition ist so konzipiert, dass Entwickler und Forschende sofort mit der Untersuchung großer Halbleiterwafer bis 300 mm durchstarten können".
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