07.04.2014
Neue Broschüre zur Glimmentladungsspektrometer von Horiba Scientific erschienen
Das Glimmentladungsspektrometer GD-OES Profiler bietet die schnelle, simultane Analyse von allen Elementen inklusive Stickstoff, Sauerstoff, Wasserstoff, Fluor und Chlor in festen Proben. Es ist das ideale Analysegerät für die Charakterisierung von Oberflächen, dünnen Schichten und Tiefenprofilen. Ausgestattet mit einer Radiofrequenzanregung, die pulsierend für zerbrechliche Proben betrieben werden kann, bietet das GD-OES Profiler einen breiten Anwendungsbereich von Studien über Korrosion bis hin zur PVD Beschichtungskontrolle. Konzentrationen vom ppm Bereich bis zu 100 % können in verschiedenen Schichten in den Proben gemessen werden.
Der neue patentierte UFS (Ultra Fast Sputtering) ermöglicht die Analyse von in Polymer eingekapselten metallischen Schichten. In dem unten genannten Beispiel werden bis zu 70µm dicke Polymere Schichten innerhalb weniger Minuten abgesputtert und dann die circa 100 nm dünnen metallischen Schichten mit einer sehr guten Tiefenauflösung gemessen.
Das pulsierte RF GD-OES ist auch ideal für die schnelle Kontrolle der aktiven Schichten einer LED und bietet die Chance für die sofortige Reaktion bei Prozessdrift. Es kann daher zur Probenvorbereitung für REM benutzt werden, oder auch für das Electron BackScatter Diffraction (EBSD) wofür die Probenvorbereitung entscheidend ist. An einem Beispiel mit Wolframcarbide wird der Vergleich zwischen einem spiegelartigen, mechanischen Polieren und einem Standard-Chemischen Polierverfahren (Dauer: 5 Stunden) gezeigt. Dank des RF GD-OES benötigt man nur 3 Sekunden für die Vorbereitung
Die neue ausführliche Broschüre kann kostenlos angefordert werden.
Quelle: HORIBA Jobin Yvon GmbH