Start des BMBF Verbundprojektes "Nanoanalytik" zur Chipentwicklung

Die Unternehmen Carl Zeiss SMT, AMD und Qimonda starten eine Kooperation im Rahmen des Verbundprojektes "Nanoanalytik", das vom Bundesministerium für Bildung und Forschung (BMBF) mit 12 Millionen Euro gefördert wird. Die Partner arbeiten gemeinsam an neuen Analyse- und Charakterisierungsmethoden, die für die Entwicklung der nächsten Chipgenerationen erforderlich sind. Das stärkt die Kompetenz des Mikroelektronikstandortes Dresden insbesondere in den Bereichen Halbleiteranalytik und Metrologie.

Wie Ministerialdirektor Dr. Wolf-Dieter Lukas, Leiter der BMBF-Abteilung "Schlüsseltechnologien - Forschung für Innovationen" heute mitteilte, ist der strategische Auf- und Ausbau von Kompetenzzentren der Mikroelektronik ein wichtiges Ziel des BMBF-Programms IKT2020. "Nur durch eine gezielte Schwerpunktsetzung in der Forschungsförderung wird es uns gelingen, Dresdens führende Rolle in dem Hightech-Bereich der Chipproduktion zu erhalten und durch innovative Ansätze, wie hier in der Nanoanalytik, weiter auszubauen."

Das neu gegründete "Carl Zeiss Innovation Center Dresden" ist ein wichtiger Baustein innerhalb des Verbundprojektes "Nanoanalytik". Dort werden höchstauflösende Partikelstrahlsysteme installiert, die anstelle von Licht Elektronen- und Ionenstrahlen verwenden. Diese Systeme ermöglichen die Abbildung, Analyse und Bearbeitung von Proben bis zur Ebene einzelner Atome. Somit tragen sie entscheidend dazu bei, dass dreidimensionale Halbleiterstrukturen charakterisiert sowie neue Materialien für die Chipherstellung entwickelt werden können. "Mit unserem Innovation Center engagiert sich Carl Zeiss SMT in Europas führendem Mikroelektronikcluster, dem "Silicon Saxony". Dadurch wird dieses nicht nur in seiner Funktion als Forschungsstandort gestärkt, sondern auch die Weiterentwicklung der dort ansässigen Halbleiterindustrie gefördert", erläutert Dr. Dirk Stenkamp, Vorstandsmitglied von Carl Zeiss SMT.

"Als Hersteller innovativer Mikroprozessoren stehen wir vor der Herausforderung, immer komplexere Strukturen in immer kleineren Dimensionen in höchster Ausbeute fertigen zu müssen", so Dr. Udo Nothelfer, Vice President AMD Fab 36. "Prozesskontrolle auf atomarem Niveau spielt daher eine herausragende Rolle. Durch die gemeinsamen Arbeiten im Carl Zeiss Innovation Center Dresden haben wir Zugang zu neuesten Elektronen- und Ionenmikroskopen und können so die Einführung neuer Technologien weiter beschleunigen. Die Erfahrungen aus der industriellen Nutzung können wiederum frühzeitig in die Entwicklung zukünftiger Analysegeräte einfließen."

"Mit den inzwischen erreichten Strukturabmessungen lassen sich heutige Speicherzellen nur noch unter dem Elektronenmikroskop erkennen", sagt Frank Prein, Geschäftsführer Qimonda Dresden GmbH und weltweiter Leiter Technologie der Qimonda AG. "Nur durch die konsequente Weiterentwicklung der Analyse- und Messverfahren lassen sich auch zukünftig die Herausforderungen in der Entwicklung und Fertigung neuester Speichertechnologien meistern. Durch die vielfältige Einbindung von Forschungspartnern wird Qimonda im Verbundprojekt ,Nanoanalytik" die Exzellenz des Forschungsstandortes für sein Technologiekompetenzzentrum in Dresden nutzen und sein wissenschaftliches Netzwerk ausbauen und stärken."

Neben den Verbundpartnern AMD und Qimonda steht das "Carl Zeiss Innovation Center Dresden" allen interessierten Firmen und Instituten im Raum Dresden zur Verfügung. Insbesondere können alle Partner des "Silicon Saxony", wie beispielsweise die TU Dresden oder das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien CNT, Anwendungsfragen der Nanotechnologie lösen.

Quelle: Carl Zeiss Jena GmbH