Weltrekord in der Spektroskopie unterboten

Ingenieure von LTB Lasertechnik Berlin GmbH testeten kürzlich in Los Gatos (Kalifornien) ihre neueste Spektrometergeneration. Dabei konnten sie eine minimale Linienbreite von 20 Femtometern FWHM bei einer Wellenlänge von 193 Nanometern messen. Das entspricht einer spektralen Auflösung von 10 Millionen. LTB Lasertechnik gelingt es dadurch den eigenen Rekord von 60 Femtometern zu unterbieten. Die Messung fand bei der Firma Positive Light statt, da nur deren 193 nm-Laser Indigo-DUV spektral so schmal ist, daß damit die Performance der Spektrometer von LTB gemessen werden kann. Nur mit einem spektral wesentlich schmaleren Laser ist es überhaupt möglich, das Auflösungsvermögen des Spektrometers zu messen.

Das Haupteinsatzgebiet dieser höchstauflösenden Spektrometer ist die spektrale Charakterisierung von Excimerlasern in der Mikrolithographie bei 248 nm, 193 nm und 157 nm. Sie bestimmen dadurch indirekt die Qualität der mittels der optischen Laserlithographie produzierten Halbleiterschaltkreise. Die Qualität des Belichtungsprozesses wird durch die spektralen Eigenschaften der verwendeten Laser sowie der Linsenoptiken bestimmt. Die Verbesserung der spektralen Bandbreite des Lasers ermöglicht die Verringerung der Strukturgrößen. Heute können Strukturbreiten von 90 nm erreicht werden.

Quelle: LTB Lasertechnik