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   Kurze Einführung in das Thema Auger-Elektronen-Spektroskopie


Die Auger-Elektronen-Spektroskopie wird dazu eingesetzt, die atomare Zusammensetzung von Oberflächen zu bestimmen. Sie ermöglicht eine qualitative chemische Analyse aller Elemente, mit Ausnahme von Wasserstoff und Helium. Zusätzlich sind Informationen über den Bindungszustand ableitbar. Durch das erreichbare laterale Auflösungsvermögen kann die AES als chemisches Mikroskop betrieben werden (Scanning Auger Microscope, SAM). Die Grundlage der Auger-Elektronenspektroskopie ist der Auger-Effekt.

Bei der AES wird die Probe mit Elektronen (1 - 10 keV) bestrahlt. Diese Elektronen erzeugen Ionen mit einer Lücke in einer inneren Schale. Diese Lücke wird durch ein Elektron aus einer höher gelegenen Schale aufgefüllt. Die dabei freiwerdende Energie wird durch die Emission eines zweiten Elektrons, dem Auger-Elektron, abgegeben. Die kinetische Energie des Auger-Elektrons wird durch die elektronischen Niveaus (Energiedifferenz beider Schalen), die an dem Auger Prozess beteiligt sind, bestimmt. Diese wiederum sind spezifisch für jedes Element.

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