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Erklärung des Begriffs "Reflection High Energy Electron Diffraction (RHEED)"

RHEED, zu deutsch "Beugung hochenergetischer Elektronen bei Reflexion", ist eine Methode glatte Oberflächen mit Hilfe von Elektronenbeugung zu analysieren.

Die Elektronen mit einer Energie von meist 10-50 keV werden von der Oberfläche reflektiert und erzeugen ein Beugungsmuster auf einem Leuchtschirm. Aus diesem Beugungsmuster können der Typ des Kristallgitters und die Gitterparameter abgeleitet werden.

Dieses Verfahren muss im Hochvakuum durchgeführt werden, da die Luft die Elektronen stark abbremst.