01.09.2021
Der Weg zur funktionellen Beschichtung: Was geschieht in der Gasphase?
Das Geheimnis um die Gasphasenreaktion lüften - als HOT Article in der renommierten Fachzeitschrift Physical Chemistry Chemical Physics (PCCP) geht das Paper "Gas-phase aluminiumacetylacetonate decomposition: Revision of the current mechanism by VUV synchrotron radiation" erfolgreich erste Schritte. Grundlage für die erfolgreiche Veröffentlichung ist die Kooperation der drei CENIDE-Mitglieder Prof. Burak Atakan, Prof. Tina Kasper und Prof. Andreas Kempf.
Aluminiumoxid ist eine beliebte Beschichtung, die z. B. als Korrosionsschutz, in der Mikroelektronik und in Geräten aus der Schneidwerkzeugindustrie eingesetzt wird. Aluminium acetylacetonat ist dabei ein gängiges, vor allem günstiges und ungiftiges Ausgangsmaterial, das Aluminiumoxid aus der Gasphase chemisch abscheidet.
Atakan, Kasper, Kempf und ihre Teams haben unter Nutzung von Synchrotron-Strahlung untersucht, wie sich Aluminium acetylacetonat in diesem Prozess zersetzt - denn darüber ist noch wenig bekannt. Dabei spielen Gasphasenreaktionen eine wichtige Rolle, um Schichtzusammensetzungen, Reinheit oder Wachstumsraten zu bestimmen. Die Forschungsarbeiten schaffen erste Grundlagen für Lösungsansätze, die beispielsweise unerwünschte Partikelbildungs- und Keimbildungsprozesse vermeiden könnten, welche die Wachstumsrate erheblich verringern.
Quelle: Center for Nanointegration Duisburg-Essen (CENIDE)