Mikrowellen-Mikroskop als Werkzeug der Zukunft

Mikrowellenstrahlung nutzen, um Materialien und kleinste Bauteile zu vermessen und hinsichtlich ihrer Eigenschaften zu charakterisieren: Diesem neuen langfristigen Forschungsthema widmet sich die Abteilung Mikrorobotik und Regelungstechnik (AMiR) im Department für Informatik der Universität Oldenburg. "Unser Ziel ist die Entwicklung eines sogenannten Rastermikrowellen-Mikroskops", so AMiR-Leiter Prof. Dr. Sergej Fatikow.

Die Forschung und Entwicklung in der Mikro- und Nanoelektronik benötigt Werkzeuge, die es ermöglichen, Materialien und Bauteile im immer kleineren Maßstab zu vermessen, zu manipulieren und zu transportieren. In der Abteilung AMiR arbeitet eine eigene Forschungsgruppe daher nun an neuen Messtechniken und -instrumenten im Gigahertz-Bereich, entsprechend der Taktfrequenz moderner Prozessoren. Der Einsatz von Mikrowellen bietet den entscheidenden Vorteil, dass sich so auch Informationen unterhalb der nichtleitfähigen Oberfläche gewinnen lassen, da die Strahlung in das Material eindringt, so Fatikow. So sollen sich zukünftig Nanoelektronik-Bauteile charakterisieren und vermessen lassen, ohne sie zerstören zu müssen.

Die Abteilung AMiR arbeitet auf diesem Forschungsfeld eng unter anderem mit Prof. Dr. Marco Farina von der Polytechnischen Universität in Ancona (Italien) zusammen.

Quelle: Universität Oldenburg