13.04.2005

Wasserstoffanalytik mit hochenergetischen Ionen



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In vielen materialwissenschaftlichen Fragestellungen bestimmt der Wasserstoffgehalt Materialeigenschaften bzw. die Qualität der Prozessführung. Neben dem Wasserstoffgehalt im Kompaktmaterial ist das Tiefenprofil der Wasserstoffkonzentration in oberflächennahen Schichten von besonderer Bedeutung.

W.A.Lanford schlug 1976 die 15N-Methode, ein Kernreaktionsanalyseverfahren (nuclear reaction analysis, NRA) für die ortsaufgelöste Wasserstoffanalytik in oberflächennahen Schichten vor. Sie kann auf o. g. Fragestellungen mittels der Kernreaktion 1H(15N,ag)12C Antwort geben.

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Quelle: Aktuelle Wochenschau



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