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Nachrichten und Pressemeldungen aus Labor und Analytik

30.03.2005

Spurenanalytik in der Produktion von Prozesschemikalien für die Halbleitertechnologie


Bei der Herstellung von Halbleiterbausteinen werden mit die extremsten Anforderungen an die Reinheit aller mit dem Halbleiter in Kontakt kommenden Materialien gefordert. Bereits geringste Verunreinigungen können zu Störungen der Funktion eines Chips führen und die Ausbeute erheblich beeinträchtigen. Die finanziellen Risiken durch den Einsatz ungeeigneten Materials sind enorm. Das Analysenzertifikat einer Prozesschemikalie hat daher in der Halbleiterindustrie einen sehr hohen Stellenwert. Bei der Produktion hochreiner Chemikalien ist Analytik auf dem neuesten Stand der Technik unverzichtbar, um die Qualität von Produkten zu dokumentieren und sie ist ein wichtiger Faktor der Wertschöpfung. Damit Chemikalien in einer Reinheit im Konzentrationsbereich weniger pg/g (ppt-Bereich) hergestellt und qualitätserhaltend verpackt werden können, sind viele mögliche Einflüsse, die sich erst im Spurenbereich bemerkbar machen und daher oft nicht direkt ins Auge fallen, analytisch zu untersuchen. Analytik begleitet die Produktion von der Eingangsuntersuchung der Rohstoffe über die In-Prozesskontrolle bis zu den Endprüfungen, manchmal zugunsten schneller Antwortzeiten mit ausgewählten Qualitätsindikatoren, und fast immer im extremen Spurenbereich. Bis eine Prozesschemikalie zu einem Hersteller von Wafern oder Halbleitern geliefert wird, sind die Aufreinigungsanlagen, Abfülllinien und die Verpackungsmaterialien analytisch teilweise mehrfach untersucht worden. Das niedrige Konzentrationslevel, in dem sichere Informationen über mögliche Verunreinigungen gefordert werden, macht auch eine ständige und aufwändige Kontrolle der Analytik selbst erforderlich.

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Quelle: Aktuelle Wochenschau




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