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Nachrichten und Pressemeldungen aus Labor und Analytik

17.12.2004

Messverfahren helfen Qualität von Wafern und Chips zu optimieren


Ein spektakulärer Durchbruch gelang Prof. Jürgen Rüdiger Niklas in seiner Arbeitsgruppe am Institut für Experimentelle Physik der TU Bergakademie Freiberg bei der Entwicklung neuer Messverfahren zur Untersuchung von Halbleiterwafern. Damit ist es jetzt wesentlich gezielter möglich, die Produktion von zum Beispiel Silizium- Wafern und darauf hergestellter Chips zu optimieren.

Quelle: Technische Universität Bergakademie Freiberg




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