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   Was ist Vakuumtechnik?


Der Begriff Vakuum kommt aus dem Lateinischen und bedeutet "leer". Ein "absolutes Vakuum" wäre also ein Raum frei von Materie, was in der Praxis nicht möglich ist. Man spricht von einem Vakuum, wenn der Luftdruck in einem Raum unter dem der Atmosphäre liegt.

Aus der modernen Forschung sind Untersuchungen im Vakuum nicht mehr wegzudenken: in der Chemie untersucht man Reaktionen von Stoffen im Vakuum, in der Physik erforscht man die Eigenschaften von Teilchen im luftleeren Raum und in der Biologie interessiert man sich für die Wirkung des Vakuums auf Zellen und Organismen. Auch die Industrie macht sich das Vakuum zunutze. Viele Prozesse, wie z.B. die Halbleiterherstellung oder die Massenspektrometrie, wären ohne Vakuum nicht möglich.

Es werden mehrere Druckbereiche für verschiedene Anwendungen unterschieden:

  • Grobvakuum: 1013 hPa bis 1 hPa, eingesetzt in der Handhabungstechnik, also beim Heben, Drehen und Transportieren von Werkstücken (sanftes Handling)
  • Feinvakuum: 1 hPa bis 10-3 hPa, dieser Bereich findet Anwendung in der Produktion von Glühlampen, Trocknung von Kunststoffen, der Gefriertrocknung von Lebensmitteln u.ä.
  • Hochvakuum: 10-3 hPa bis 10-7 hPa, benötigt beim Schmelzen von Metallen und bei der Herstellung von Elektronenröhren
  • Ultrahochvakuum: unter 10-7 hPa, eingesetzt z.B. zum Zerstäuben, Aufdampfen und Beschichten von Metallen

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