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Erklärung des Begriffs "Reflexions-Anisotropie-Spektroskopie (RAS)"

Bei der Reflexions-Anisotropie-Spektroskopie (RAS) handelt es sich um eine zerstörungsfreie optische Messmethode zur Untersuchung der Oberfläche von Festkörpern.

Zum Einsatz kommt die RAS hauptsächlich in der Halbleiterindustrie zur in-situ Kontrolle der einzelnen Wachstumsschritte. Dadurch ist es möglich, die Qualität der aufzubringenden Schicht bereits während der Herstellung zu kontrollieren und ggfs. zu korrigieren.

Im Gegensatz zu LEED und RHEED wird bei der RAS kein Hochvakuum benötigt, was das Messverfahren sehr vereinfacht.