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Erklärung des Begriffs "Rasterelektronenmikroskopie (REM)"

Ein Elektronenstrahl wird in einem bestimmten Raster über die mit Gold bedampfte Probe geführt. Die von der Objektoberfläche emittierten Sekundärelektronen werden gemessen und in ein optisches Bild umgewandelt. Um einen ungestörten Elektronenstrahl zu erreichen wird die Messung im Hochvakuum durchgeführt.