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29.03.2024
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Aufbau und Inbetriebnahme eines hochauflösenden Massenspektrometers zur Analyse von Flüssigmetall-Ionenquellen

Wortmann, Martin - Ruhr-Universität Bochum (2014)


In der vorliegenden Dissertation werden Planung, Aufbau und Inbetriebnahme eines hochauflösenden Massenspektrometers zur Analyse von Flüssigmetall-Ionenquellen beschrieben. Nach einer ausführlichen Darstellung der theoretischen Grundlagen zu den Themen der fokussierten Ionenstrahlen (FIB) und der Massenspektrometrie werden die Ergebnisse von ionenoptischen Simulationen dargestellt, die für die Planung des Spektrometers von Bedeutung waren. Anschließend wird der experimentelle Aufbau detailliert beschrieben. Zu guter Letzt werden die Ergebnisse präsentiert, die bei der Inbetriebnahme des Systems gesammelt wurden. Durch erste Messungen konnten Massenspektren von aus einer Gallium-Quelle emittierten Clustern aufgenommen werden. Anhand dieser Spektren wurde die Auflösung des Massenspektrometers charakterisiert. Außerdem konnten Aussagen über die Stabilität der Cluster gemacht und durch Vergleich mit verschiedenen Modellen bestätigt werden.


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