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Aufbau eines Laser-Vibrometer-Messsystems zur Hochtemperatur-Charakterisierung von Sensorkomponenten

Schmidtchen, Silja - Technische Universität Clausthal (2013)


Für die geforderte Entwicklung und Optimierung von Sensoren für den Hochtemperaturbereich ist ein präzises Verständnis der Sensorprinzipien sowie eine genaue Kenntnis der physikalischen Eigenschaften der Resonatoren und Sensorschichten und deren Temperaturabhängigkeiten erforderlich. In Hinblick auf die genannte Verringerung von Dämpfungseffekten und die Bildung von Sensorarrays ist eine Untersuchung der mechanischen Auslenkung sowie der Schwingungsverteilung und deren Abhängigkeit von den Geometrien der Resonatoren, der Elektroden und ggf. Sensorschichten notwendig. Daher soll eine nicht-invasive Methode zur In-situ-Messung von lateralen und horizontalen mechanischen Auslenkungen unter extremen Bedingungen bereitgestellt werden. Eine vergleichbare Methode wurde, soweit bekannt, bisher nicht anderweitig vorgestellt.

Das Ziel dieser Arbeit ist die Realisierung eines solchen Messsystems, welches die Charakterisierung der Schwingungseigenschaften verschiedener Sensorkomponenten bei hohen Temperaturen und unterschiedlichen Gaszusammensetzungen ermöglicht.


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