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Zersetzungsverhalten neuartiger, kohlenstofffreier Gold-Precursoren für den Einsatz in elektronenstrahlgestützten additiven Strukturierungsverfahren zur direkten Abscheidung von Metallen

Necke, Mandus - Carl von Ossietzky Universität Oldenburg (2010)


In dieser Dissertation wurde das Zersetzungsverhalten der neuartigen grundsätzlich kohlenstofffreien thermolabilen Tetranitratoaurat-Precursoren NH4[Au(NO3)4], NO[Au(NO3)4] und NO2[Au(NO3)4] auf Siliziumoberflächen für den Einsatz in additiven Abscheideverfahren zur Erzeugung kohlenstofffreier nanoskaliger Goldstukturen untersucht. Ein grundlegender Teil dieser Arbeit bestand in der Klärung der Machbarkeit, Eignung und Korrelation der Methoden TG/DTA, DSC, TDS, XPS für die Untersuchung der luftempfindlichen Materialien sowie der Klärung der Eignung der betrachteten kohlenstofffreien Tetranitratoaurat-Precursoren für den Einsatz in elektronenstrahlschreibenden Verfahren. Es wurde v.a. das thermische, photochemische und elektronenstrahlinduzierte Zersetzungsverhalten dieser neuartigen Precursorverbindungen untersucht. Erfolgreiche additive Abscheidungen im REM gelangen mit dem NO2[Au(NO3)4]-Precursor. Dieser zersetzt sich - nach DSC-/TDS-Analysen - thermisch im Temperaturbereich ab etwa 400 K bis 470 K unter Freisetzung von Stickoxiden zu - nach XPS-Analysen - elementarem Gold.


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