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Synthese und Charakterisierung von neuartigen Halogenalanderivaten und deren Anwendung in der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD)

Kirs, Tatjana - Universität des Saarlandes (2011)


Die Synthese und Charakterisierung der Mono- und Dihalogenalane wird systematisch dargestellt. Stabilisierungsmöglichkeiten der monomeren Form unter Anwendung geeigneter Basen (tertiäres Amin, N-Methylpiperidin) standen dabei im Vordergrund. Alle Verbindungen sind Donor-Akzeptor-Systeme, in denen der Lewis-saure Halogenalankern über die freien Elektronenpaare der Aminliganden koordiniert und damit stabilisiert wird. Im Gegensatz zu tertiären Aminen konnte wie erwartet mit sekundären Aminen (Piperidin) Dimere mit einer kovalenten Bindung zwischen dem Stickstoff- und dem Aluminiumatom gebildet werden. Des Weiteren wurde in dieser Arbeit gezeigt, dass Chloraluminiumhydride als Edukte zur Darstellung von weiteren interessanten Verbindungen effizient angewendet werden können.

Durch eine weitere Modifikation der Substituenten am Aluminiumatom konnten die einzigartigen Heterohalogenverbindungen synthetisiert werden, von denen bis heute noch keine Analogen in der Literatur bekannt sind. Die erhaltenen Verbindungen konnten mittels spektroskopischen Methoden und Röntgenstrukturbestimmung charakterisiert werden. Im materialwissenschaftlichen Teil wurden mögliche Applikationen der Halogenalanderivate im innovativen Beschichtungsverfahren, des thermischen CVD-Prozesses, untersucht. Die neuen Single-Source-Precursoren wurden auf verschiedenen Materialoberflächen abgeschieden. Die entstandenen Oberflächen sind homogen kristallin und konnten als Aluminiumschichten charakterisiert werden.


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